Sistema de medición de dimensiones críticas SpectraShape™ series

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Sistemas ópticos de medición de dimensiones críticas (CD) y formas El sistema de metrología dimensional SpectraShape™ 10K se utiliza para caracterizar y supervisar completamente las dimensiones críticas (CD) y las formas tridimensionales de finFETs, NANDs apilados verticalmente y otras características complejas en circuitos integrados en los nodos de diseño de 1Xnm y superiores. Gracias a una amplia gama de tecnologías ópticas y algoritmos patentados, el sistema óptico de medición de CD y formas SpectraShape 10K proporciona información sobre los parámetros críticos de los dispositivos (dimensión crítica, rebaje de la puerta metálica, rebaje de alta k, ángulo de la pared lateral, altura de la resistencia, altura de la máscara dura, paso) para una amplia gama de aplicaciones en la fabricación de circuitos integrados, desde las primeras capas de los transistores de vanguardia hasta las últimas capas de interconexión. Aplicaciones Supervisión de procesos en línea, control de patrones, ampliación de ventanas de proceso, control de ventanas de proceso, control avanzado de procesos (APC), análisis de ingeniería Productos relacionados AcuShape®: Software de modelado avanzado que interpreta las señales de los sistemas SpectraShape, ayudando a acelerar el proceso de construcción de modelos de formas 3D robustos y utilizables. SpectraShape 10K: Sistemas ópticos de CD y metrología de formas que permiten medir características complejas para dispositivos IC lógicos y de memoria avanzada de 1Xnm. SpectraShape 9000: sistemas de CD óptico y metrología de formas que permiten medir características complejas para dispositivos de CI en los nodos de diseño de 20 nm e inferiores.