Sistema de medición de espesor Aleris® series

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Sistemas de metrología de películas Los sistemas de metrología cinematográfica Aleris® proporcionan una medición fiable y precisa del espesor de la película, del índice de refracción, de la tensión y de la composición para el nodo de 32nm y más allá. Utilizando la tecnología de elipsometría espectroscópica de banda ancha (BBSE), los sistemas de metrología de película de Aleris constituyen una solución completa de medición del espesor de la película y de metrología, ayudando a las fábricas a calificar y supervisar una amplia gama de capas de película. Aleris 8330 El sistema de metrología de película Aleris 8330 es una solución de bajo costo de propiedad para películas no críticas, incluyendo dieléctricos intermetálicos, fotorresistentes, recubrimientos antireflejantes inferiores, óxidos y nitruros gruesos y capas de fondo de línea. Aleris 8350 El Aleris 8350 es un sistema de metrología de películas de alto rendimiento que cumple con las tolerancias de proceso más estrictas requeridas para las mediciones de espesor, índice de refracción y tensión en películas críticas. El sistema de medición de espesor de película Aleris 8350 se utiliza para el desarrollo, caracterización y control de proceso de una amplia gama de películas críticas, incluyendo capas de difusión ultrafinas, óxidos de puerta ultrafinos, fotoresinas avanzadas, capas ARC de 193nm, pilas multicapa ultrafinas y capas CVD. Aleris 8510 El Aleris 8510 amplía la capacidad de medición de espesor, composición y tensión de la película de la familia Aleris a las capas de proceso avanzadas de compuerta metálica de alto k (HKMG) y de nitruración por plasma desacoplado ultrafino (DPN). Utilizando la tecnología mejorada de elipsometría espectroscópica de banda ancha de 150nm, el sistema de medición de espesor de película Aleris 8510 proporciona a los ingenieros los datos de metrología de película necesarios para el desarrollo y la supervisión en línea de las capas DPN y de todas las capas HKMG - desde la entrada hasta la salida