Sistema de medición de temperatura SensArray®

de herramientasautomático

Paquete de automatización de medición de temperatura in situ El paquete de automatización SensArray® proporciona una rápida recopilación automatizada de las mediciones de temperatura de la cámara de la herramienta de proceso. El paquete incluye un FOUP compatible con la vía aérea (OHT), una estación de automatización, un controlador de automatización del sistema y componentes de asiento de software para PC de oficina. Los FOUPs de SensArray pueden procesarse de la misma manera que cualquier FOUP de producción, con transferencia directa de datos a las cartas SPC. SensArray Automation proporciona mejoras en la productividad como resultado de las ganancias en la disponibilidad de herramientas de proceso, el uso más eficiente de los recursos de ingeniería y el almacenamiento centralizado de datos en la base de datos MES de la fábrica Aplicaciones Desarrollo de procesos, Calificación de procesos, Monitoreo de herramientas de procesos, Calificación de herramientas de procesos, Comparación de cámaras, Comparación de herramientas de procesos