Máquina de control óptica Archer™ series

para oblea grabadapara la industria electrónicade defectos

Sistemas de metrología de superposición El sistema de metrología de superposición Archer™ 750 proporciona una retroalimentación precisa del error de superposición en el producto para rampas tecnológicas rápidas y una producción estable de dispositivos lógicos y de memoria de vanguardia. La sintonización de longitudes de onda con una resolución de 10 nm proporciona mediciones de error de superposición precisas y sólidas en presencia de variaciones en el proceso de producción. El sistema de superposición basado en imágenes Archer 750, con niveles de productividad que normalmente sólo se observan con sistemas basados en dispersometría, admite un mayor muestreo para correcciones de escáner de alto orden y un alto rendimiento para la supervisión en línea. Los algoritmos avanzados y el novedoso diseño del objetivo de superposición rAIM® producen una correlación mejorada entre los errores de superposición del objetivo y del dispositivo, lo que ayuda a los litógrafos a realizar un seguimiento preciso del rendimiento de la superposición del dispositivo. Aplicaciones Control de superposición en el producto, Supervisión en línea, Cualificación de escáneres, Control de patrones