Perfilómetro óptico Tencor™ P-17

3Dcon estiletepara el análisis de películas finas

El Tencor P-17 es un perfilador de palpador de sobremesa de octava generación, basado en más de 40 años de experiencia en metrología de superficies. Este sistema líder del sector admite mediciones de altura de paso en 2D y 3D, rugosidad, arco y tensión para exploraciones de hasta 200 mm sin costura. Gracias a la combinación de un sensor UltraLite®, un control de fuerza constante y una platina de escaneado ultraplana, se consigue una estabilidad de medición excelente. La configuración de la receta es rápida y sencilla gracias a los controles de la platina de apuntar y hacer clic, las ópticas de vista superior y lateral y una cámara de alta resolución con zoom óptico. El perfilómetro de palpador Tencor P-17 admite mediciones en 2D o 3D, con diversos algoritmos de filtrado, nivelación y análisis para cuantificar la topografía de la superficie. Se consiguen mediciones totalmente automatizadas con reconocimiento de patrones, secuenciación y detección de características. - Altura de paso: De nanómetros a 1000µm - Fuerza baja con control de fuerza constante: de 0,03 a 50 mg - Escaneado de todo el diámetro de la muestra sin costura - Vídeo cámara en color de alta resolución de 5MP - Corrección del arco: Elimina el error debido al movimiento de arco del palpador - Software: Interfaz de software fácil de usar - Capacidad de producción: Totalmente automatizada con secuenciación, reconocimiento de patrones y SECS/GEM Aplicaciones - Altura del escalón: altura del escalón en 2D y 3D - Textura: rugosidad y ondulación en 2D y 3D - Forma: arco y forma en 2D y 3D - Tensión: tensión de película fina 2D y 3D - Revisión de defectos: topografía de la superficie del defecto en 2D y 3D