Sistema de medición óptico Therma-Probe® 680XP
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Características
- Tecnología
- óptico
Descripción
Sistemas de metrología de implantes
El sistema de metrología de implante iónico/ recocido Therma-Probe® 680XP permite la supervisión de dosis en línea para los nodos de diseño de 2Xnm/1Xnm. El Therma-Probe 680XP produce información de proceso crítica sobre la dosis y el perfil del implante iónico, la uniformidad del implante y del recocido y los daños de fin de gama. Además, los mapas de microuniformidad de alta resolución del sistema Therma-Probe 680XP proporcionan capacidad de huella digital para el desarrollo de procesos de implante y recocido.
Aplicaciones
Monitorización de procesos, monitorización de herramientas
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