Máquina de control óptica Candela® 8420

de superficiede defectosautomatizada

El Candela 8420 es un sistema de inspección de defectos superficiales que utiliza detección multicanal y agrupación de defectos basada en reglas para proporcionar detección de partículas y arañazos en obleas opacas, translúcidas y transparentes como las de arseniuro de galio (GaAs), fosfuro de indio (InP), tantalato de litio, niobato de litio, vidrio, zafiro y otros materiales semiconductores compuestos. El sistema de inspección de defectos superficiales 8420 emplea una arquitectura OSA (analizador óptico de superficies) patentada para medir simultáneamente la intensidad de la dispersión, las variaciones topográficas, la reflectividad de la superficie y el desplazamiento de fase para la detección y clasificación automáticas de una amplia gama de defectos de interés (DOI). El sistema de inspección de defectos superficiales Candela 8420 permite cubrir toda la superficie en cuestión de minutos y obtener imágenes de alta resolución e informes de inspección automatizados con clasificación de defectos y mapas de obleas. El sistema de inspección de obleas Candela 8420 proporciona análisis de superficies, incluida la detección de defectos superficiales y partículas en obleas opacas, translúcidas y transparentes, como las de vidrio, zafiro pulido por una cara (SSP), zafiro pulido por las dos caras (DSP); líneas de deslizamiento; picaduras y protuberancias de arseniuro de galio (GaAs) y fosfuro de indio (InP); cartografía de uniformidad de superficies con bruma; y defectos en tantalato de litio (LiTaO2), niobato de litio (LiNbO3) y otros materiales avanzados. El sistema de inspección de superficies 8420 se utiliza para el control de procesos de semiconductores compuestos (limpieza de obleas, preepitaxia y posepitaxia) mediante la inspección de defectos. Su avanzado diseño multicanal ofrece una sensibilidad mejorada con respecto a las tecnologías monocanal.