Sistema de medición de temperatura HighTemp-400

para oblea

Sistema de medición in situ de la temperatura de las obleas de deposición pelicular El sistema de medición de temperatura de obleas in situ HighTemp-400 está diseñado para optimizar y monitorizar procesos avanzados de deposición de películas (FEOL y BEOL ALD, CVD y PVD) y otros procesos de temperatura elevada. La oblea inalámbrica HighTemp-400 mide la uniformidad térmica de la herramienta de proceso, proporcionando datos temporales y espaciales de temperatura recogidos en condiciones reales de proceso de producción. Al revelar las variaciones térmicas que pueden afectar a las ventanas de proceso y al rendimiento del patrón, HighTemp-400 ayuda a los fabricantes de circuitos integrados en la integración de nuevos materiales, tecnologías de transistores y complejas técnicas de patrón. Aplicaciones Desarrollo de procesos, Cualificación de procesos, Supervisión de herramientas de proceso, Cualificación de herramientas de proceso, Adaptación de herramientas de proceso Deposición de películas finas | 20-400°C