Sistema de medición de temperatura WetTemp series

para oblea

Sistema de medición in situ de la temperatura de obleas en procesos húmedos (15° a 140°C) El sistema de medición de la temperatura de obleas in situ WetTemp, disponible en configuraciones de 300 mm y 200 mm, permite monitorizar los procesos de limpieza en húmedo y otros procesos en húmedo. Las obleas de monitorización de la serie WetTemp son compatibles con la mayoría de los sistemas de proceso de limpieza en húmedo de oblea única para ayudar a los ingenieros a cualificar las herramientas de limpieza en húmedo, optimizar los procesos de limpieza en húmedo e impulsar mejoras en el rendimiento del sistema de limpieza en húmedo. Aplicaciones Desarrollo de procesos, Cualificación de procesos, Supervisión de herramientas de proceso, Cualificación de herramientas de proceso, Adaptación de herramientas de proceso WetTemp-HR Monitorización de temperatura de obleas con 65 sensores de temperatura integrados distribuidos uniformemente en nueve anillos concéntricos para proporcionar una cobertura mejorada de la superficie de la oblea y obtener datos de temperatura espaciales ricos en toda la oblea. Compatible con procesos húmedos de oblea única con un grosor de oblea de 1,2 mm. WetTemp-LP Supervisión de la temperatura de la oblea con 65 sensores de temperatura integrados distribuidos en cinco anillos concéntricos con densidad sesgada en la zona de 147 mm. Compatible con procesos húmedos de oblea única con un grosor de oblea de 0,775 mm. WetTemp Control de temperatura de obleas con 65 sensores de temperatura integrados distribuidos en cinco anillos concéntricos con densidad sesgada en el área de 147 mm. Compatible con procesos húmedos de oblea única con un grosor de oblea de 1,2 mm.