Sistemas de inspección de defectos en el blanco de retícula
El sistema de inspección de defectos de máscaras FlashScan® 211 ayuda a los talleres de máscaras y a los fabricantes de máscaras a cumplir los requisitos de defectos de máscaras para aplicaciones de litografía óptica y EUV. El sistema FlashScan 211 combina su alta sensibilidad con una velocidad de inspección sin precedentes y la disposición automática de defectos, reduciendo el tiempo de obtención de resultados para una amplia gama de aplicaciones.
Aplicaciones
Fabricación de máscaras, Cualificación de máscaras, Control de procesos de retícula, Supervisión de equipos de procesos de retícula
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