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Sistema de inspección óptico FlashScan®
automáticopara detección de fallospara la industria electrónica

sistema de inspección óptico
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Características

Tecnología
óptico
Especificaciones
automático
Tipo
para detección de fallos
Aplicaciones
para la industria electrónica

Descripción

Sistemas de inspección de defectos en el blanco de retícula El sistema de inspección de defectos de máscaras FlashScan® 211 ayuda a los talleres de máscaras y a los fabricantes de máscaras a cumplir los requisitos de defectos de máscaras para aplicaciones de litografía óptica y EUV. El sistema FlashScan 211 combina su alta sensibilidad con una velocidad de inspección sin precedentes y la disposición automática de defectos, reduciendo el tiempo de obtención de resultados para una amplia gama de aplicaciones. Aplicaciones Fabricación de máscaras, Cualificación de máscaras, Control de procesos de retícula, Supervisión de equipos de procesos de retícula

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