Sistema de inspección 3D Kronos™ 1190

IAautomáticopara la industria del embalaje

El sistema de inspección de obleas con patrón Kronos™ 1190 con óptica de alta resolución proporciona la mejor sensibilidad de su clase a defectos críticos para el desarrollo de procesos y la supervisión de la producción en aplicaciones de envasado avanzado a nivel de oblea (AWLP), incluidos CI 3D y fan-out de alta densidad (HDFO). DefectWise™ integra Inteligencia Artificial (IA) como una solución a nivel de sistema, ofreciendo un gran impulso en sensibilidad, productividad y precisión de clasificación para abordar los desafíos del exceso y las fugas de defectos. DesignWise™ refina con precisión las áreas de inspección FlexPoint™ con entrada directa de diseño para reducir aún más las molestias. El sistema Kronos 1190, compatible con sustratos adheridos, adelgazados, deformados y cortados en dados, permite una inspección de defectos rentable de hasta 150 nm en pasos críticos del proceso como la postadhesión, la preadhesión, el estampado de almohadillas de Cu, pilares de Cu, protuberancias, a través de vías de silicio (TSV) y capas de redistribución (RDL). Aplicaciones Detección de defectos, Depuración de procesos, Supervisión de procesos, Supervisión de herramientas, Control de calidad saliente (OQC)