Perfilómetro 3D Tencor™ P-7

con estiletepara la medición de la rugosidadde mesa

El perfilador de palpador de sobremesa Tencor P-7 se basa en el éxito del sistema de perfilado de palpador de sobremesa Tencor P-17, líder del mercado. Incluye el rendimiento de medición superior de la tecnología P-17 en una plataforma que ofrece una excelente relación precio-prestaciones para un perfilador de palpador de sobremesa. El perfilador de palpadores Tencor P-7 admite mediciones 2D y 3D de alturas de escalón, rugosidad, arco y tensión para exploraciones de hasta 150 mm sin costura. - Altura de paso: De nanómetros a 1000µm - Fuerza baja con control de fuerza constante: de 0,03 a 50 mg - Escaneado de todo el diámetro de la muestra sin costura - Vídeo cámara en color de alta resolución de 5MP - Corrección del arco: Elimina el error debido al movimiento de arco del palpador - Software: Interfaz de software fácil de usar - Capacidad de producción: Totalmente automatizada con secuenciación, reconocimiento de patrones y SECS/GEM Aplicaciones - Altura del escalón: altura del escalón en 2D y 3D - Textura: rugosidad y ondulación en 2D y 3D - Forma: arco y forma en 2D y 3D - Tensión: tensión de película fina 2D y 3D - Revisión de defectos: topografía de la superficie del defecto en 2D y 3D