El perfilador de palpador de sobremesa Tencor P-7 se basa en el éxito del sistema de perfilado de palpador de sobremesa Tencor P-17, líder del mercado. Incluye el rendimiento de medición superior de la tecnología P-17 en una plataforma que ofrece una excelente relación precio-prestaciones para un perfilador de palpador de sobremesa. El perfilador de palpadores Tencor P-7 admite mediciones 2D y 3D de alturas de escalón, rugosidad, arco y tensión para exploraciones de hasta 150 mm sin costura.
- Altura de paso: De nanómetros a 1000µm
- Fuerza baja con control de fuerza constante: de 0,03 a 50 mg
- Escaneado de todo el diámetro de la muestra sin costura
- Vídeo cámara en color de alta resolución de 5MP
- Corrección del arco: Elimina el error debido al movimiento de arco del palpador
- Software: Interfaz de software fácil de usar
- Capacidad de producción: Totalmente automatizada con secuenciación, reconocimiento de patrones y SECS/GEM
Aplicaciones
- Altura del escalón: altura del escalón en 2D y 3D
- Textura: rugosidad y ondulación en 2D y 3D
- Forma: arco y forma en 2D y 3D
- Tensión: tensión de película fina 2D y 3D
- Revisión de defectos: topografía de la superficie del defecto en 2D y 3D
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