Perfilómetro óptico Zeta™-20

3Dcon interferometría de luz blancapara semiconductor

El profiler óptico del benchtop Zeta-20 es un sin contacto, sistema de medida de la topografía de la superficie 3D. El sistema es accionado por la tecnología patentada de ZDot™ y la óptica con varios modos de funcionamiento, permitiendo la medida de una variedad de muestras: transparente y opaco, bajo a la alta reflexión, alise a la textura áspera, y a las alturas del paso de nanómetros a los milímetros. El Zeta-20 integra seis diversas tecnologías ópticas de la metrología en un sistema configurable y fácil de usar. El modo de la medida de ZDot™ recoge simultáneamente una exploración de alta resolución 3D y una imagen infinita del foco del color verdadero. Otras técnicas de medida 3D incluyen microscopia del contraste de la interferometría ligera blanca, de interferencia de Nomarski, e interferometría de corte. El espesor del film se puede medir con ZDot o un reflectómetro de banda ancha integrado. El Zeta-20 es también un microscopio de gama alta que se puede utilizar para el estudio de la muestra o la inspección automatizada del defecto. El Zeta-20 apoya el R&D y ambientes de producción proporcionando altura del paso, aspereza, y medidas completas del espesor del film, y deserta capacidad de la inspección. Usos Altura del paso: altura del paso 3D de nanómetros a los milímetros Textura: aspereza 3D y ondulación en liso a las superficies muy ásperas Forma: arco 3D y forma Tensión: 2.a tensión de la película fina Espesor del film: espesor del film transparente de 30nm hasta el 100µm Inspección del defecto: defectos de la captura mayores el de 1µm Estudio del defecto: Los ficheros de KLARF se utilizan para navegar a los defectos para medir ubicaciones del defecto de la topografía o del escribano de la superficie 3D