Perfilómetro óptico Zeta™-388

3Dcon interferometría de luz blancapara la medición de la rugosidad

El perfilador sin contacto Zeta™-388 ofrece funciones de metrología 3D y captura de imágenes, combinadas con una mesa de aislamiento integrada y un sistema de manipulación de obleas casete a casete para mediciones totalmente automatizadas. El sistema cuenta con la tecnología ZDot™, que recopila simultáneamente datos 3D de alta resolución y una imagen de enfoque infinito True Color. Zeta-388 es compatible tanto con entornos de I+D como de producción gracias a su óptica multimodo, su software fácil de usar, su bajo coste de propiedad y sus comunicaciones SECS/GEM. El perfilómetro óptico Zeta-388 es un sistema de medición topográfica de superficies 3D sin contacto. El Zeta-388 se basa en la capacidad del Zeta-300 con la adición de un manipulador de casete a casete para mediciones totalmente automatizadas. El sistema funciona con la tecnología patentada ZDot y óptica multimodo, lo que permite medir una gran variedad de muestras: transparentes y opacas, de baja a alta reflectancia, de textura lisa a rugosa y con alturas de paso desde nanómetros a milímetros. El sistema automatizado de metrología óptica Zeta-388 integra seis tecnologías diferentes de metrología óptica en un sistema configurable y fácil de usar. El modo de medición ZDot recoge simultáneamente un escaneado 3D de alta resolución y una imagen de enfoque infinito True Color. Otras técnicas de medición 3D son la interferometría de luz blanca, la microscopía de contraste de interferencia Nomarski y la interferometría de cizallamiento. El espesor de la película puede medirse con ZDot o con un reflectómetro de banda ancha integrado. El Zeta-388 es también un microscopio de gama alta que puede utilizarse para la revisión de muestras o la inspección automatizada de defectos.