Máquina de control óptica C205

para oblea grabadapara la industria electrónicade defectos

El sistema de inspección óptica de defectos por plasma de banda ancha C205 permite descubrir defectos sistemáticos y detectar defectos de fiabilidad latentes en la fabricación de chips para los mercados de automoción, IoT, 5G y electrónica de consumo. El C205 aprovecha una fuente de iluminación de banda ancha sintonizable, óptica avanzada y un sensor de bajo ruido para capturar defectos sistemáticos, ayudando a acelerar la caracterización y optimización de nuevos procesos, nodos de diseño y dispositivos durante I+D. La tecnología NanoPoint™ centra la inspección en áreas de patrones con alto riesgo de fallos de fiabilidad, proporcionando datos de defectos procesables que ayudan a reducir el exceso de troqueles. En producción, el C205 supervisa las capas críticas que requieren alta sensibilidad, ayudando a las fábricas a evitar excursiones de defectos que afectan a la calidad final del chip. La C205 es una plataforma ampliable y configurable que admite obleas de 200 mm y 300 mm. Detección de defectos, Detección de puntos calientes, Depuración de procesos, Análisis de ingeniería, Supervisión de líneas, Detección de ventanas de proceso