Máquina de grabado en obleas Primaxx® Monarch 3

El sistema de grabado por vapor de fluoruro de hidrógeno (VHF) Primaxx® Monarch 3 está diseñado para realizar un grabado selectivo mediante un proceso de grabado anhidro HF/alcohol controlado. El Monarch 3 es un módulo compacto que incluye una cámara de proceso de 3 obleas con un cargador semiautomático de 3 obleas con bloqueo de carga, y está diseñado para laboratorios de investigación y entornos de producción de pequeño volumen. Un panel PC integrado, con electrónica incorporada, minimiza el espacio ocupado en la sala blanca y el sistema se ha diseñado para facilitar los cambios de tamaño de oblea y el mantenimiento. - Compatible con obleas de 100-200 mm - Tamaño de lote de hasta 3 obleas - Sistema autónomo - Ocupa poco espacio e incluye cámara de proceso, panel de gas/líquido y componentes de presión/vacío