- Movimiento ultradinámico
- Precisión de posicionamiento insuperable
- Alta rigidez del sistema
- Baja emisión de partículas
El sistema de motor lineal de alta velocidad se ha desarrollado para su uso como eje de avance en una máquina de fabricación de semiconductores con el fin de lograr una productividad y fiabilidad del proceso superiores.
Además de los requisitos habituales del cliente, como masa móvil, rangos de recorrido, definiciones de ciclo, etc., era necesario tener en cuenta propiedades adicionales. Entre ellas se incluían, por ejemplo
- Diseño extremadamente compacto
- Calidad de sincronización (cogging) insuperable
- Sin necesidad de mantenimiento
- Rápida puesta en marcha
- Retroalimentación de posición absoluta
- Gestión de cables a medida
El sistema de motor lineal de alta velocidad se ha desarrollado especialmente para aplicaciones con alta precisión de posicionamiento. Ofrece la opción de utilizar un patrón de taladrado de carro y placa base personalizado para satisfacer requisitos individuales. Además, el sistema está diseñado en una versión compatible con salas limpias para permitir su uso en entornos sensibles. Para facilitar la puesta en servicio inicial, se suministra un juego de parámetros que permite una puesta en servicio rápida y eficaz.
- Manipulación de obleas
- Manipulación de sustratos
- Movilidad electrónica
- Tecnología médica
- Procesado láser
- Manipulación de lentes ópticas
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