Sistema de medición para borde de la oblea WATOM 200/300mm

ópticopor láserautomatizado

Perfilador automático de bordes de obleas WATOM 200/300mm Medición del borde de la oblea - precisión milimétrica El uso de patrones cada vez más pequeños en la industria de los semiconductores exige materiales cada vez más avanzados de una calidad extremadamente alta. En respuesta a las constantes mejoras en la calidad de las obleas, KoCoS Optical Measurement ha desarrollado WATOM, una herramienta de medición de bordes de oblea y perfiles de muesca que anuncia una nueva era de medición de geometría de oblea extremadamente precisa. El método de medición patentado de WATOM LS utiliza un sensor de detección de luz para medir el perfil del borde de la oblea con una precisión milimétrica, incluido el perfil dentro de la muesca. Mediante una cámara CMOS, se toman imágenes de la línea láser producida por el perfil del borde. A continuación, se utiliza un algoritmo matemático desarrollado por KoCoS para determinar las características del perfil del borde. El diseño modular de WATOM está preparado para combinarse con diversas soluciones de automatización de los modernos procesos de fabricación de semiconductores, tanto si las obleas individuales se cargan manualmente como si se dispone de un sistema automatizado de manipulación de materiales (AMHS).