Sistema de medición para borde de la oblea WATOM 150/200mm

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Perfilador automático de bordes de obleas WATOM 150/200mm Medición de bordes de obleas - Tecnología de proyección fiable WATOM CCD utiliza la tecnología de proyección de perfiles como alternativa a la tecnología LS y proporciona la solución ideal para requisitos de medición de perfiles menos exigentes, en particular cuando no se requiere la medición de muescas. Una cámara CMOS captura la imagen de perfil del borde de la oblea iluminada por una fuente de luz telecéntrica. El diseño modular de WATOM está preparado para combinarse con diversas soluciones de automatización de los modernos procesos de fabricación de semiconductores, tanto si las obleas individuales se cargan manualmente como si se dispone de un sistema automatizado de manipulación de materiales (AMHS).