■Gas aplicable:N₂,Aire,H₂,He,Ar,O₂,CO₂ etc.
■Flow range:1SCCM~20SLM
■Precisión:±1%F.S.
Cierres metálicos.
Control de caudales minúsculos disponible a partir de F.S.1SCCM por conversión N₂.
Volumen muerto reducido gracias a la válvula de asiento de diafragma.
Aplicaciones
・Muestreo de aire
・Componente analizador
bioreactor
proceso biotecnológico
・Control de combustión
・Fabricación de CCFL
・Control de presión de cámara
proceso químico
control medioambiental
fabricación de dispositivos electrónicos
producción de alimentos
pruebas de pilas de combustible
proceso de fermentación
mezcla de gases
distribución de gas
control del flujo de gas
generación de gas
hornos industriales
comprobación de fugas
proceso farmacéutico
control de la contaminación
control de flujo de procesos
i+D
fabricación de elementos de energía solar
referencia de calibración secundaria
・Proceso de semiconductores
proceso de tratamiento de superficies
pulverización térmica por llama
fabricación de películas finas
deposición en fase vapor
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