Horno de tipo armario VF-3000H

de recocidoeléctricoen atmósfera controlada

Un horno vertical que permite el procesamiento a ultra alta temperatura, ideal para la fabricación de dispositivos de potencia. Admite obleas de 3 a 6 pulgadas y cuenta con un mecanismo de transferencia automática de obleas. Puede utilizarse para aplicaciones que van desde la I+D hasta la producción en masa. Características Admite tamaños de lote que van desde minilotes hasta 50 obleas, y aplicaciones que van desde la I+D hasta el uso en líneas de producción en masa. Admite una amplia gama de tamaños de oblea de 3 a 6 pulgadas. El interior del horno cuenta con nuestra construcción patentada sin metales. Permite el control de la temperatura en las proximidades de la oblea. El bloqueo de la carga de N2 es una característica estándar. Transporte de casete a casete de alto rendimiento El recocido en atmósfera de H2 con redondeo de zanjas está disponible como opción. El VF-3000H es un horno vertical que puede procesar lotes que van desde minilotes hasta 50 obleas, y una amplia gama de tamaños de oblea de 3 a 8 pulgadas. Las características del hardware y del sistema de control cuidadosamente seleccionadas permiten aplicaciones que van desde la I+D hasta el uso en líneas de producción en masa. El interior del horno cuenta con nuestra construcción patentada sin metales. El VF-3000H permite el procesamiento a alta temperatura, por lo que es ideal para la fabricación de dispositivos de potencia. También puede realizar la oxinitruración.