Recocido acero RLA-3100-V

series grandes

Permite el proceso del recocido del contacto y del substrato de GaN. Apoya las obleas de 6 pulgadas y permite la activación y la oxidación en atmósferas de la carga-cerradura environments/N2 del vacío (LP). Características Temperatura de funcionamiento máximo: 1,200°C Apoya una amplia gama de tamaños de la oblea hasta 6 pulgadas. Un mecanismo automático del reemplazo de la oblea proporciona transferencia del casete-a-casete. La ayuda del vacío mejora características de recocido. La ayuda de la carga-cerradura del N2 permite tiempo de vuelta rápido. Substratos de GaN del proceso de la poder.