La cocción a alta temperatura en un ambiente limpio es posible gracias al filtro de alto rendimiento resistente al calor y a la exclusiva unidad de enfriamiento. Un sistema de circulación de aire caliente se utiliza para realizar con gran precisión el horneado/envejecimiento de obleas y sustratos de vidrio, el curado de poliimida y el recocido.
Características
Un filtro de alto rendimiento resistente al calor y nuestra exclusiva unidad de enfriamiento están instalados para permitir una cocción a alta temperatura.
El interior de la cámara puede mantener una limpieza de clase 100 cuando la temperatura es estable.
Existen dos tipos de soplador de aire caliente: soplador frontal con circulación horizontal (tipo V) y soplador lateral (tipo III). Ambos logran una alta eficiencia térmica y una buena uniformidad de temperatura.
Este tipo de horno es óptimo para la cocción de obleas de semiconductores y sustratos de vidrio, el envejecimiento y otros tratamientos térmicos que requieren alta precisión.
Se pueden introducir gases inertes en las cámaras para utilizar los hornos como hornos de gas inerte.
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