Horno de cámara VF-3000H

de recocidode nitruraciónde alta temperatura

Un horno vertical que permite el procesamiento a alta temperatura, ideal para la fabricación de dispositivos de potencia. Soporta oxinitruración y obleas de hasta 8 pulgadas de tamaño. Dispone de un mecanismo de transferencia automática de obleas y puede utilizarse para aplicaciones que van desde I+D hasta la producción en masa. Características Soporta tamaños de lotes que van desde mini-batches hasta 50 obleas, y aplicaciones que van desde I+D hasta su uso en líneas de producción en masa. Soporta una amplia gama de tamaños de obleas de hasta 8 pulgadas. Permite el control de la temperatura en las proximidades de la oblea. El interior del horno cuenta con nuestra propia construcción libre de metal. Soporta el procesamiento en serie de diferentes procesos de oxidación/oxinitruración (oxidación húmeda/seca, recocido H2, nitruración NH3, oxinitruración NO/N2O). Mecanismo de limpieza de la cámara (opcional)