Un horno vertical que permite el procesamiento a ultra alta temperatura, ideal para la fabricación de dispositivos de potencia. Admite obleas de 6 a 8 pulgadas y cuenta con un mecanismo de transferencia automática de obleas. Puede utilizarse para la producción en masa.
Características
Admite un máximo de 100 obleas por lote y se puede utilizar en líneas de producción en masa.
Admite una amplia gama de tamaños de oblea de 6 a 8 pulgadas.
El interior del horno cuenta con nuestra construcción patentada sin metales.
Permite el control de la temperatura en las proximidades de la oblea.
El bloqueo de la carga de N2 es una característica estándar.
Transporte de casete a casete de alto rendimiento
El recocido en atmósfera de H2 con redondeo de zanjas está disponible como opción.
El VF-5300HLP es un horno vertical que puede procesar un máximo de 100 obleas por lote y una amplia gama de tamaños de oblea de 6 a 8 pulgadas. Las características del hardware y el sistema de control cuidadosamente seleccionados permiten su uso en líneas de producción en masa. El interior del horno cuenta con nuestra construcción patentada sin metales. El VF-5300HLP admite procesos de recocido de activación a muy alta temperatura.
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