Horno de cámara VF-5300H

de recocidode nitruraciónde limpieza

Un horno vertical que permite el procesamiento a alta temperatura, ideal para la fabricación de dispositivos de potencia. Admite la oxinitruración y obleas de hasta 8 pulgadas. Cuenta con un mecanismo de transferencia automática de obleas y puede utilizarse para la producción en masa. Características Admite un máximo de 75 obleas (200 mm / 8 pulgadas) o máx. 100 obleas (150mm / 6 pulgadas), y su uso en líneas de producción en masa. Admite una amplia gama de tamaños de oblea de hasta 8 pulgadas. Permite el control de la temperatura en las proximidades de la oblea. El interior del horno cuenta con nuestra construcción patentada sin metales. Admite el procesamiento en serie de diferentes procesos de oxidación/oxinitruración (oxidación húmeda/seca, recocido H2, nitruración NH3, oxinitruración NO/N2O). Mecanismo de limpieza de la cámara (opcional) El VF-5300H es un horno vertical que puede procesar un máximo de 100 obleas por lote y una amplia gama de tamaños de oblea de 3 a 8 pulgadas. Las características del hardware y el sistema de control cuidadosamente seleccionados permiten su uso en líneas de producción en masa. El interior del horno cuenta con nuestra construcción patentada sin metales. El VF-5300H permite el procesamiento a alta temperatura, por lo que es ideal para la fabricación de dispositivos de potencia. También puede realizar la oxinitruración.