Horno de cámara RLA-4106-V

de recocidode vacío

La capacidad de bloqueo de carga en vacío mejora el rendimiento. Admite varias obleas, incluyendo Si, GaN y SiC. Características La cámara y la unidad de transporte están equipadas de serie con un sistema de bloqueo de la carga de vacío, lo que permite un alto rendimiento. Incluye una función de transferencia automática del susceptor para obleas de SiC y GaN. Las lámparas halógenas están instaladas tanto en la cruz superior como en la inferior. el control de 6 zonas permite controlar fácilmente la relación de potencia de cada zona. La medición sin contacto de la temperatura de la pieza se realiza mediante termómetros radiativos y es posible el control de retroalimentación. Se trata de un equipo de producción que utiliza múltiples lámparas halógenas dispuestas en una cruz superior e inferior como fuente de calor, y está destinado al recocido rápido y de alta precisión de obleas. El uso de una plataforma de transporte al vacío de nuevo desarrollo permite el transporte y el tratamiento de las piezas en una atmósfera de oxígeno ultrabaja.