Horno de cinta transportadora VF-3000

de tipo armariode oxidaciónen atmósfera controlada

Este horno vertical de bajo precio, equipado con un transportador automático, puede utilizarse para una serie de funciones que van desde la I+D hasta la producción en masa de obleas de 4 a 8 pulgadas. Hemos conseguido un precio tan bajo que los usuarios finales pueden introducir este horno. El tratamiento a ultra alta temperatura está disponible y es el más adecuado para la fabricación de dispositivos de potencia. Características Equipo de bajo coste para usuarios finales Procesamiento de mini lotes, de 50 a 75 obleas, disponible para la línea de I+D hasta la de producción en masa tamaño de oblea de 4 a 8 pulgadas disponible Máximo 4 stocks de cassettes Excelente control de la temperatura, desde un rango de temperatura bajo hasta uno medio alto, mediante un calentador LGO Transferencia de obleas a alta velocidad mediante un único robot de manipulación de obleas Equipada con un sistema de control sencillo de funciones limitadas Este horno puede utilizarse para una amplia gama de tamaños de oblea, desde 4 a 8 pulgadas, y se puede elegir el procesamiento en 50-75 obleas de mini lotes. Con el contenido del hardware y el sistema de control cuidadosamente seleccionados para lograr un precio bajo, este horno vertical puede utilizarse para una amplia gama de funciones, desde I+D hasta líneas de producción en masa. Elija y utilice un calentador adecuado entre un calentador LGO, un calentador de disilicida de molibdeno (MoSi2) y un calentador de carbono, no sólo para el recocido a baja temperatura, nitruro (Si3N4), polisilicio (poli Si) y otros materiales LPCVD, oxidación y difusión, sino también para la oxinitruración de silicio de la puerta del dispositivo de potencia SiC, el recocido de activación y otros procesos de tratamiento a ultra alta temperatura.