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Horno de campana RLA-3100
de oxidaciónde recocidode gas

Horno de campana - RLA-3100 - Koyo Thermos Systems - de oxidación / de recocido / de gas
Horno de campana - RLA-3100 - Koyo Thermos Systems - de oxidación / de recocido / de gas
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Características

Configuración
de campana
Función
de oxidación, de recocido
Fuente de calor
de gas
Atmósfera
de vacío
Otras características
continuo, para la industria electrónica
Temperatura máxima

Máx.: 1.200 °C
(2.192 °F)

Mín.: 400 °C
(752 °F)

Ancho

900 mm
(35,43 in)

Alto

2.580 mm
(101,57 in)

Profundidad

1.850 mm
(72,83 in)

Descripción

Este sistema para 4 - a las obleas de 8 pulgadas realiza la activación y la oxidación en una atmósfera del ambiente del vacío (LP) y de la carga-cerradura del N2. Las lámparas cruzadas superiores y más bajas (halógeno) y un sistema de impregnación se utilizan para una uniformidad más alta de la distribución de la temperatura del en-avión. Características Estructura cruzada superior y más baja de la lámpara y calentar la unidad uniformizing para mejorar la uniformidad de la temperatura del en-avión 4- a la oblea de 8 pulgadas el tamaño está disponible El robot limpio multiaxial permite transferencia de alta velocidad y exacta de la oblea El proceso continuo máximo de 50 obleas está disponible Equipado de un sistema de control operador-amistoso del alto rendimiento El tubo diseñado vacío del cuarzo permite la substitución y el proceso exactos del gas en la presión del vacío

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Traducción automática  (ver el original en inglés)

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