Horno de cámara CCBS-IR

de recocidode cocciónde infrarrojos

La serie CCBS-IR son hornos de limpieza de tipo de transferencia de sustrato único que utilizan un sistema de calentamiento por infrarrojos. Pueden realizar una gran variedad de tratamientos térmicos para pantallas de cristal líquido (LCD) de gran tamaño y EL orgánico (OLED) hasta la 10ª generación. También está disponible un modelo de demostración que procesa IGZO y LTPS (polisilicio de baja temperatura) a 500°C. Características Factor de limpieza de alto nivel Alta eficiencia de calentamiento Excelente uniformidad de la temperatura Capaz de controlar la atmósfera Factor de limpieza de alto nivel La estructura limpia que no genera polvo, combinada con el control de precisión de la atmósfera del horno (patente adquirida), ofrecen un alto nivel de limpieza. Estos hornos también son capaces de procesar sustratos de matriz que requieren un entorno limpio estricto. Alta eficiencia de calentamiento Se utiliza un sistema de calentamiento por infrarrojo lejano (IR) con una eficiencia de calentamiento superior, y es capaz de procesar con alta eficiencia todos los espesores de película. Es ideal para el procesamiento de películas gruesas, como las capas de alineación y las películas de pasivación. Excelente uniformidad de la temperatura Los calentadores de panel IR adoptados ofrecen una excelente uniformidad de temperatura. Son capaces de calentar uniformemente incluso sustratos de gran tamaño, como los de 10ª generación. Capacidad de control de la atmósfera Se puede inyectar gas nitrógeno en el horno para realizar el tratamiento térmico con bajas concentraciones de oxígeno.