El iStack™ S+ está diseñado para aplicaciones de alta calidad de epoxi y de conexión de troqueles de película con flexibilidad de proceso para soportar tanto las aplicaciones de memoria como de imagen. Sus características de proceso mejoradas incluyen el proceso de cara hacia abajo, UV in situ y mecanismo de detección de la fuerza de adherencia, lo que proporciona una mejora de la productividad y el rendimiento.
Características y opciones
Kit de alta precisión (5 μm)
Kit de manipulación de sustratos finos (< 100 μm)
Funciones de mapeo (sustrato / oblea)
Kit de eliminación de contaminación de obleas / sustratos
Kit OHT / AGV
Kit SMEMA
UV (In-Situ / Post-Bond)
Kit de monitorización de la contaminación de la herramienta
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