El MicroSpotMonitor (MSM) de PRIMES es la herramienta ideal para comprobar, monitorizar y aprobar haces láser enfocados muy finamente, como los que se utilizan, por ejemplo, en el procesado de micromateriales. El MSM mide y analiza automáticamente la distribución espacial del haz alrededor del foco en varias posiciones z.
El haz láser enfocado es un factor determinante de la calidad del resultado de fabricación. En la mayor parte del procesamiento de materiales por láser, constituye la herramienta propiamente dicha. La tarea del MSM es certificar y supervisar esta herramienta para los sistemas láser que se utilizan en el procesamiento de micromateriales. Mediante mediciones periódicas, se puede identificar y registrar cualquier cambio en el perfil del haz, la posición focal o las dimensiones del haz, entre otras cosas. Los resultados no sólo ayudan al análisis de fallos, sino también a la optimización de un proceso en microprocesado. Las diversas posibilidades de uso del MSM ofrecen a los operadores una gran variedad de enfoques para la resolución de problemas en sus aplicaciones.
El MicroSpotMonitor determina los parámetros del haz de láser enfocado de láseres con potencias medias de hasta 200 W en el rango de 20 micrómetros hasta un milímetro directamente en la zona del proceso. El sistema, refrigerado exclusivamente por aire, genera imágenes del haz láser, atenuado mediante diversos divisores de haz y filtros de vidrio de densidad neutra, en un sensor CCD. La posición y el radio del haz se obtienen a partir de la distribución del haz de un nivel determinado de este modo. Con ayuda del eje z integrado y la medición en varias posiciones del haz láser, se determinan y registran los parámetros del haz descritos.
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