Desarrollado específicamente para sistemas de microprocesamiento, el PRIMES MicroSpotMonitor-Compact (MSM-C) amplía la familia de productos de sistemas de análisis de enfoque basados en cámaras con un sistema de medición compacto y modular.
Optimizado para plantas de microprocesado
El MicroSpotMonitor-Compact (MSM-C) se ha optimizado específicamente para espacios de instalación reducidos en plantas de microprocesamiento. Las dimensiones de la carcasa de la cámara con la electrónica, la atenuación y el absorbedor de potencia son de unos 230 x 120 x 60 milímetros (largo x ancho x alto). El dispositivo compacto no tiene ejes de movimiento propios.
El haz láser se amplía mediante una óptica de medición, se atenúa en dos divisores de haz y se proyecta mediante un espejo deflector en un sensor CCD. En caso necesario, puede instalarse un filtro adicional delante del sensor. El sensor CCD mide la geometría del haz y la distribución de la densidad de potencia. Los datos de medición se transmiten a través de Ethernet a un PC y se evalúan con el software LaserDiagnoseSoftware de PRIMES. Opcionalmente, los datos pueden ser determinados internamente por el dispositivo y transferidos a través de una interfaz PROFIBUS al controlador de la planta.
Se miden las distribuciones de densidad de potencia (de un solo plano de corte), las dimensiones del haz y la orientación del haz en el plano de medición. Dependiendo de la resolución local elegida, pueden realizarse mediciones repetidas con una frecuencia de repetición de hasta un hercio.
En combinación con un eje Z externo:
- Dimensiones focales
- Posición focal en el espacio
- Índice de difracción M2 (factor de propagación del haz k, producto de los parámetros del haz)
- Longitud de Rayleigh
- Divergencia del campo lejano
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