Regulador de temperatura sin visualizador SEMISTAT

termoeléctricode proceso

Termostatos de proceso termoeléctricos para la industria de los semiconductores desde -20 hasta 90 °C El sistema de regulación de temperatura termoeléctrico Semistat ofrece una regulación de la temperatura reproducible para aplicaciones de grabado por plasma. Este sistema procura una regulación dinámica de la temperatura del porta obleas electrostático (ESC) y puede utilizarse en combinación con todo tipo de procesos de grabado. Los sistemas termoeléctricos de regulación de la temperatura LAUDA Semistat se basan en los conocidos principios de eficacia probada de la transmisión del calor. El uso de estos elementos permite una regulación rápida y precisa de la temperatura necesaria para los procesos exigentes en torno a la fabricación de componentes cada vez más pequeños. El uso de sistemas de regulación de temperatura Semistat permite reducir el consumo de energía hasta un 90 % con respecto a sistemas basados en compresores. El espacio necesario mínimo junto a la posibilidad de realizar una instalación bajo el suelo en el punto de uso minimiza la ocupación del espacio limpio. Gracias a una regulación rápida y precisa de la temperatura de los perfiles de temperatura del proceso con una exactitud de ±0,1 K se logra una homogeneidad "Wafer-to-Wafer" mejorada. Rango de temperatura de trabajo mín.- 20 °C Rango de temperatura de trabajo máx.90 °C Estabilidad de temperatura 0,1 ±K