recocido, curado, secado, recubrimiento superficial
Modificación de la superficie de la oblea en atmósfera de gas protector
Otras aplicaciones posibles son
Procesos de revestimiento en la industria electrónica y de semiconductores
ESPECIFICACIONES DE PRODUCTOS
Características más importantes:
2 zonas con calefacción eléctrica
Sala limpia de clase 100
Medición de oxígeno residual
Enfriamiento rápido
Cámara de acero inoxidable (1.4301), electropulida
Dispositivo de alimentación de gas (Ar, N2)
Calentado por elemento calefactor tubular
Potencia calorífica aprox. 5 kW
Precisión de temperatura +/-3k
Circulación de gas
Nosotros lo hacemos posible:
Linn High Therm está especializada en adaptar sus productos a las necesidades del cliente. Háganos saber si necesita alguna modificación. Haremos todo lo posible para satisfacer sus deseos.
Posibles opciones estandarizadas
Diferentes sistemas de control
Refrigeración por agua de emergencia
Software de guiado del proceso
Refrigerador de circulación
Dispositivo de extinción con supervisión de llama
Paquete de seguridad
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