El sistema Logitech Orbis CMP es una herramienta CMP de precisión y de pie, ideal para entornos de I+D. Normalmente, el sistema Orbis CMP se utiliza en aplicaciones que realizan pruebas de producción piloto con capacidades analíticas óptimas y un mayor rendimiento de procesamiento.
Las capacidades del sistema pueden adaptarse para incluir:
Fabricación de circuitos integrados de back-end,
Fabricación de sistemas microelectromecánicos (MEMS),
Opto-MEMS
Fabricación de Bio-MEMS.
Solución de bajo coste - resultados de alto valor
La capacidad de realizar pruebas de procesos piloto suele requerir costosos sistemas de nivel de producción, pero Orbis consigue esta capacidad en un sistema rentable. Al incorporar características mejoradas y funcionalidades de alta tecnología, el sistema CMP Orbis consigue unas capacidades de procesamiento superiores a las que se suelen ofrecer en un sistema de este tamaño.
Uso flexible de la operación
Además de su capacidad para reproducir entornos de nivel de producción, Orbis también es adecuado para un uso más tradicional de I+D. Esto incluye la producción de pequeños lotes y las pruebas de producción piloto. El sistema es capaz de procesar todos los troqueles, obleas y obleas parciales de hasta 200 mm (8″) de diámetro utilizando un soporte específico. Al igual que con los anteriores equipos CMP de Logitech, se pueden utilizar plantillas y cuñas o las muestras se pueden montar directamente en los portamuestras.
Características principales
Ideal para entornos de I+D y pruebas de procesos piloto
Espacio de trabajo de gran capacidad para muestras de hasta 2 de 200 mm (8″)
Datos descargables para el análisis de los parámetros del proceso
Huella a escala de laboratorio
Acondicionamiento de la almohadilla estándar de la industria para mantener una vida útil óptima de la almohadilla
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