1. El diseño idéntico de los compartimentos de vacío de 795 mm permite a los usuarios intercambiar libremente la ubicación de la bomba, la separación de gases y los compartimentos de cátodos, lo que mejora la flexibilidad del proceso.
2. El nuevo diseño del dispositivo de separación de gases evita la deriva de gases entre los compartimentos de cátodos y consigue un mejor efecto de separación de gases.
3. El tubo de soporte de aluminio extruido hace que el imán y su yugo se aíslen del agua de refrigeración para evitar el cambio del campo magnético debido a la inmersión en el agua durante mucho tiempo.
4. Equipado con un sistema de gas de proceso auxiliar de 5-9 colectores y cada uno podría ser diferente como el requisito de proceso
5. El control de transporte de alta precisión puede ser garantizado por los servomotores.
6. Reducción del volumen de las cámaras de entrada y salida para mejorar la eficiencia y reducir los costes.
7. Una tapa catódica integrada consigue una combinación perfecta al poner en una "caja" el colector de gas, los controladores, las conexiones para la alimentación eléctrica y los distintos medios para flexibilizar la configuración del proceso.
8. Cada cátodo está equipado con un sistema de control independiente.
9. El diseño de la tapa de una sola pieza puede hacer que la elevación mecánica e hidráulica sea fácil, para así lograr un mejor control automático.
10. Mediante el uso de bombas turbo-moleculares de levitación avanzada y bombas de línea de tornillo para evitar la contaminación del aceite de reflujo y hace que sea más fiable y eficiente.
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