Alta velocidad y alta resolución, manteniendo una medición estable y de ultraprecisión. Ideal para platinas de precisión, sistemas de inspección/fabricación de semiconductores y máquinas de procesamiento de ultraprecisión.
Escala de alta resolución con paso de señal de aprox. 138 nm, que supera a los sistemas de interferómetro de ondas de luz
Gran estabilidad, no se ve afectada por la humedad, la presión atmosférica ni las perturbaciones del aire
Precisión del punto de referencia: ±0,1µm
El diseño sin contacto elimina el error de retorno
Longitud de medición: 9 tipos (-R/-RS)
Longitud de medición: 10 tipos (-N/-NS)
Modelos especiales no magnéticos y compatibles con el vacío disponibles
Utilización de vidrio de baja dilatación -0,7 x10-6 °C (longitud de medición: de 10 a 420 mm)
Resolución: 2,1 pm
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