Espectrómetro de rayos X 2830 ZT

WDXRFde laboratoriode medición

Solución avanzada de metrología de película delgada de semiconductores El analizador de láminas 2830 ZT de fluorescencia de rayos X con dispersión de longitud de onda (WDXRF, por sus siglas en inglés) ofrece la capacidad más reciente para medir el grosor y la composición de películas. Diseñado específicamente para la industria de semiconductores y de almacenamiento de datos, el analizador de láminas 2830 ZT permite determinar la composición, el grosor, los niveles de dopaje y la uniformidad de la superficie de las capas para una amplia gama de láminas de hasta 300 mm. Capacidad y velocidad continua El tubo de rayos X SST-mAX de 4 kW cuenta con la innovadora tecnología ZETA, que elimina los efectos de envejecimiento del tubo de rayos X. El rendimiento de este "nuevo tubo" se mantiene durante toda la vida útil del producto y, junto con una alta sensibilidad, la tecnología ZETA garantiza que se conserve el análisis rápido y los tiempos breves de medición durante toda la vida útil del tubo. La tecnología ZETA reduce sólidamente la necesidad de corregir y recalibrar las desviaciones, lo que aumenta la productividad y el tiempo de actividad del instrumento. Tiempo de actividad maximizado Los tubos de rayos X convencionales sufren la evaporación del tungsteno, lo que generar depósitos dentro de la ventana de berilio del tubo. La instrumentación con dichos tubos de rayos X requiere corregir la desviación regular para compensar la reducción de intensidad, especialmente para los elementos ligeros. La implementación del tubo SST-mAX en el 2830 ZT resuelve este problema de desviación, lo cual aumenta el tiempo de actividad y mantiene la precisión del instrumento en el tiempo.