Sensor de caudal MEMS MSL01

de siliciomásicovolumétrico

El sensor de flujo de núcleo sensible se basa en el principio de transferencia de calor. La estructura del sensor consta de una fuente de microcalor situada en la película sensible, un sensor de temperatura aguas arriba y un sensor de temperatura aguas abajo simétricos a la fuente de microcalor, y un sensor de temperatura ambiente situado en la base de silicio. Cuando no hay flujo de fluido sobre la superficie del sensor, el campo de temperatura alrededor de la fuente de microcalor se distribuye simétricamente, como en (a); cuando hay flujo de fluido sobre la superficie del sensor, el campo de temperatura alrededor de la fuente de microcalor se altera debido al efecto de enfriamiento del fluido sobre la fuente de microcalor, y el flujo ascendente y descendente de la fuente de microcalor se distribuye asimétricamente, como en la Fig. (b); cuanto mayor es la velocidad de flujo del fluido, mayor es el caudal de gas que se aleja de la fuente de microcalor, y la asimetría es mayor. La velocidad de flujo del fluido se obtiene por la diferencia de temperatura entre los sensores de temperatura aguas arriba y aguas abajo. - Relación de amplio rango>300:1 - Tiempo de respuesta rápido<5ms - Flujo de arranque ultrabajo <0,05m/s - Alta sensibilidad y precisión Precisión de lectura superior a +/-3 - Piezas inamovibles, alta fiabilidad - Adecuado para gases y líquidos limpios - Equipos médicos respiratorios y de diagnóstico - Control de pilas de combustible - Caudalímetro de aire para automoción - Equipos de gases domésticos - Analizador de espectrometría de masas por cromatografía de gases y líquidos - HVAC - Detector de fugas - Automatización industrial