Interferómetro para la medición subnanométrica del desplazamiento interferoMETER 5600-DS

para medición de distanciaópticode luz blanca

El interferómetro de luz blanca IMS5600-DS se utiliza para mediciones de distancia con la máxima precisión. Ofrece una calibración especial con evaluación inteligente y permite realizar mediciones absolutas con resolución subnanométrica. El interferómetro se utiliza para tareas de medición con los más altos requisitos de precisión, por ejemplo, en la producción de electrónica y semiconductores. Para aplicaciones de vacío, Micro-Epsilon ofrece sensores, cables y accesorios de paso especiales. Estos sensores y cables están libres de partículas en un alto grado y pueden utilizarse incluso en UHV. El sistema proporciona valores de medición absolutos y, por tanto, también puede utilizarse para la medición de distancia de perfiles de pasos. Gracias a la medición absoluta, los pasos se muestrean con una elevada estabilidad de señal. De este modo, las diferencias de altura de tacones, escalones y depresiones pueden detectarse de forma fiable al medir sobre objetos en movimiento. El sistema de medición ofrece una resolución subnanométrica con una gran distancia de desplazamiento en relación con el rango de medición. Con la medición de distancia multipico en objetos transparentes, se evalúan simultáneamente hasta 14 valores de distancia. Por ejemplo, se puede determinar la distancia entre el cristal y una placa portadora. A continuación, el controlador puede calcular el grosor del cristal a partir de los valores de distancia. Los interferómetros IMS5600-DS pueden utilizarse para tareas de medición en entornos de vacío y salas blancas, donde los interferómetros alcanzan una resolución en el rango subnanométrico.