Interferómetro para medición del espesor interferoMETER IMS5420-TH

de luz blanca

El interferómetro de luz blanca IMS5420-TH abre nuevas perspectivas en la medición industrial del espesor de obleas de silicio monocristalino. Gracias a su diodo superluminiscente (SLED) de banda ancha, el IMS5420-TH puede utilizarse para obleas de SI no dopadas, dopadas y altamente dopadas. El rango de medición del espesor va de 0,05 a 1,05 mm. El espesor medible de los entrehierros es incluso de hasta 4 mm. En la producción de semiconductores, la máxima precisión es esencial. Un paso importante del proceso es el lapeado de las piezas en bruto, que de este modo adquieren un grosor uniforme. Con el fin de controlar continuamente el espesor, se desarrollaron los interferómetros de luz blanca de la serie IMS5420 de interferoMETER. Cada uno de ellos consta de un sensor compacto y un controlador alojados en una robusta carcasa industrial. El control activo de la temperatura integrado en el controlador garantiza una gran estabilidad de las mediciones. El interferómetro está disponible como sistema de medición de espesor o de espesor multipico. El sistema de medición de espesor multipico puede medir el espesor de hasta cinco capas, por ejemplo, el espesor de obleas, entrehierros, películas y revestimientos >50 µm. Para mediciones de espesor en condiciones ambientales difíciles, el controlador IMS5420IP67 está disponible con grado de protección IP67 y carcasa de acero inoxidable, así como fibra óptica y sensores a juego.