Estación de sondeo semiautomática SPS series

Sistemas semiautomáticos estándar - Plato XY motorizado, plato motorizado en SPS-2600, movimiento Z motorizado del plato en SPS 2800 en configuración estándar. El movimiento theta motorizado es opcional. - Basado en motor paso a paso, sin codificadores. - Muy competitivo en costes - Muy recomendado en aplicaciones en las que se desea realizar pruebas por debajo de 0 °C o blindaje - Opciones disponibles: platos calefactados o refrigerados, visores zoom o microscopios compuestos, diversos apantallamientos, selección de los platos para mediciones de CC y RF, y muchas más Especificaciones - Tamaño de la oblea Hasta 200 mm - Tipo de motor Motor paso a paso - Recorrido de la platina XY Hasta 200 mm x 200 mm - Resolución de la platina XY motorizada, repetibilidad de 6,5μm - Velocidad XY (máx.) 9.5 mm/s - Velocidad Z (máx.) 5 mm/s - Recorrido de la platina 12.7mm o más - Ajuste de la platina Doble control grueso y fino con una repetibilidad superior a 2,5 µm - Planitud de la platina <12,7μm en 200 mm - Rigidez de la mesa <50μm para 4,5 kg - Mandril de vacío Vacío multizona - Planitud del mandril +/-13μm - Tensión de ruptura del mandril Al menos 500V - Aislamiento del mandril Al menos 1GΩ - Ajuste del mandril 360° grueso, +/-6° fino - Microscopio Zoom estéreo de alta calidad con distancia de trabajo de hasta 200 mm y aumentos que van de 3,5X a 180X - Terminales de paso BNC, Triax o conector banana - Dimensiones del sistema 122 cm de ancho x 122 cm de fondo x 92 cm de alto