Estación de sondeo semiautomática SPS-2 series

de vacío

Las series SPS-2600-VAC y SPS-2800-VAC son los sistemas de sonda de vacío de MicroXact diseñados para admitir el sondeo motorizado o semiautomático de obleas de hasta 100 mm o hasta 200 mm en una atmósfera de vacío o de gas controlado. Esta solución de pruebas de vacío es sistemática y precisa, rentable, poco ruidosa y cómoda de usar. Estos sistemas de sondas de vacío se basan en una plataforma versátil con compensación de vibraciones que puede configurarse para una amplia gama de aplicaciones de sondeo. Los sistemas de sondas de vacío de MicroXact, ideales para pruebas sin formación de hielo de hasta 77 K o para pruebas a alta temperatura de dispositivos y componentes propensos a la oxidación, ofrecen sondas a nivel de oblea en entornos controlados. Características de la estación de sondas de vacío - Disponible con repetibilidad/resolución estándar (+/-7 mm/1,5 mm) y alta repetibilidad/resolución (mejor que 2 mm/100 nm) en X e Y. - Disponible con platina theta manual o motorizada. - Disponibles brazos de sonda con ajuste manual externo del micromanipulador. - Disponible con mandriles térmicos refrigerados por nitrógeno líquido para ensayos a temperaturas de nitrógeno líquido. - La configuración estándar incluye un tubo de zoom 7:1X para una resolución superior a 4 μm. 12.también hay disponibles lentes de zoom 5:1 y 16:1. Los microscopios compuestos de alta resolución pueden acomodarse con un diseño especial de la tapa superior. - Aislamiento eficiente de las vibraciones de la bomba de vacío. - Software de automatización XactTest™ con adición de control de presión automatizado.