Estación de sondeo semiautomática SPS-HP series

Sistemas semiautomatizados de alta precisión - Plato XY motorizado, movimiento Z motorizado del plato en configuración estándar. El movimiento theta motorizado es opcional. - Motor paso a paso, codificadores lineales. - Coste competitivo para las especificaciones de posicionamiento. - Ideal para pruebas de producción de bajo volumen y chracterización. Especificaciones - Tamaño de oblea Hasta 300 mm - Tipo de motor Motor paso a paso - Recorrido de la platina XY Hasta 300 mm x 300 mm - Resolución y repetibilidad de la platina XY Motorizada, resolución de 0,15μm, repetibilidad de +/-1,2μm - Velocidad XY (máx.) 50 mm/s - Velocidad Z (máx.) 10 mm/s - Recorrido de la platina 12.7mm o 25mm - Ajuste de la platina Doble control grueso y fino con una repetibilidad superior a 1µm - Planitud de la platina <12,7μm a lo largo de 200 mm - Rigidez del plato <50μm para 4,5 kg - Mandril de vacío Vacío multizona - Planitud del mandril +/-13μm - Tensión de ruptura del mandril Al menos 500V - Aislamiento del mandril Al menos 1GΩ - Ajuste del mandril 360° grueso, +/-6° fino - Microscopio Zoom estéreo de alta calidad con distancia de trabajo de hasta 200 mm y aumentos que van de 3,5X a 180X - Terminales de paso BNC, Triax o conector banana - Dimensiones del sistema 101 cm de ancho x 91 cm de profundidad x 88 cm de alto