Estación de sondeo semiautomática SPS-HS series

Sistemas semiautomatizados de alta velocidad - Plato XY motorizado, plato motorizado en SPS-2600, movimiento Z motorizado del plato en SPS 2800 en configuración estándar. El movimiento theta motorizado es opcional. - Basado en servomotor, codificadores lineales. - Solución muy competitiva en costes, muy rápida y de alta productividad - Muy recomendada para producción a media escala u otras aplicaciones en las que el rendimiento es importante Especificaciones - Tamaño de la oblea Hasta 300 mm - Tipo de motor Servomotor - Recorrido de la platina XY Hasta 300 mm x 300 mm - Resolución y repetibilidad de la platina XY Motorizada, resolución de 0,15μm, repetibilidad de +/-1,2μm - Velocidad/aceleración XY (máx.) Hasta 1000mm/s, hasta 35mm/s2 - Velocidad Z 20 mm/s - Recorrido de la platina 12.7mm o 25mm - Ajuste de la platina Doble control grueso y fino con una repetibilidad superior a 2,5 µm - Planitud de la platina <12,7μm en 200 mm - Rigidez del plato <50μm para 4,5 kg - Mandril de vacío Vacío multizona - Planitud del mandril +/-13μm - Tensión de ruptura del mandril Al menos 500V - Aislamiento del mandril Al menos 1GΩ - Ajuste del mandril 360° grueso, +/-6° fino - Microscopio Zoom estéreo de alta calidad con distancia de trabajo de hasta 200 mm y aumentos que van de 3,5X a 180X - Terminales de paso BNC, Triax o conector banana - Dimensiones del sistema 101 cm de ancho x 91 cm de profundidad x 88 cm de alto