Regulador de caudal másico térmico IE50A

para gas

El regulador del flujo total de IE50A es los fines generales, MFC elastómero-sellado con capacidad de control de flujo a partir el 5 del sccm a slm 50 completo, equivalente del N2. Incorpora el más último de electrónica de control digital de flujo y de un sensor termal probado, patentado y de un diseño mecánico. El IE50A es un MFC de control digital ofrecido con análogo (0 a 5 VDC o 4-20 mA) o una variedad (RS485, Profibus® y DeviceNet™) entrada-salida digital. La electrónica del control numérico utiliza el más último de los algoritmos de control de MKS para la respuesta rápida y repetible a setpoint a través de la gama del control. Los tiempos de reacción típicos están en la orden de 500 milisegundos. Una calibración digital (incluida) rinde el 1% de exactitud setpoint en el gas de la calibración.