El analizador del multi-gas, fabricado por MKS Intruments, se utiliza especialmente para el gas de proceso. El dispositivo utiliza un fourier transforma el infrarrojo (FTIR) y un infrarrojo nondispersive (NDIR). El dispositivo es también capaz de ppb a la sensibilidad del PPM para los gases tales como NF3, NH3, H2, NO y N2O. Puede también ser utilizado en los gases con agua del 30%.
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