Regulador de caudal másico térmico P2 MFC

para gas corrosivodigital

El PFC-60 ΠMFC, manufacturado por los instrumentos de MKS, es regulador termal digital del flujo total usado especialmente para los gases corrosivos. El dispositivo consiste en la mejora en la tecnología en términos de funcionalidad y funcionamiento. Ayudan a los usuarios en semiconductor y usos thin-film de la pureza elevada. El control de flujo del dispositivo es insensible a los disturbios por aguas arriba y rio abajo. El control en tiempo real del flujo del gas y de su exactitud se mejora. Tienen mejor compartimiento el emparejar que los MFCS digitales basados PID. El sensor de la presión y la exhibición de LED se combina para disminuir los componentes necesarios en un palillo del gas. La disposición y la localización de averías de los MFC "in-situ" es debido al interfaz en Internet del hojeador.