Difusor de aire

Cómo maximizar el paso sin comprometer el rendimiento. Un medio sencillo para aumentar el paso de una herramienta sin afectar el rendimiento es aumentar la velocidad de cualquier paso que no esté relacionado con la formación real del circuito semiconductor. Uno de estos pasos es la represurización o "venteo" de la cámara de carga, que crea un ambiente de presión positiva que inhibe la migración de partículas de la sala limpia a la cámara. El desafío: Presurice sin partículas molestas La cámara es un entorno contaminado, y la presurización puede perturbar las partículas contenidas en su interior, provocando que caigan sobre la superficie de la oblea. El desafío es presurizar lo más rápido posible, pero sin crear chorros de gas que puedan perturbar las partículas. La solución: Difusores Mott GasShield® POU (Punto de Uso) El metal poroso de Mott puede reducir en gran medida el tiempo de bloqueo de la carga sin el efecto adverso del chorro visto a través de los cabezales de ducha y las simples líneas de entrada de un cuarto de galón. El metal poroso reduce la velocidad del gas de purga para asegurar un flujo uniforme y laminar de gas en la cámara. Las alternativas al difusor Mott crean flujos con uno o más chorros de gas, posiblemente no laminares. Nuestros difusores, en comparación, han sido probados para obtener una velocidad de flujo uniforme de hasta el 5% en toda la superficie.